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金融界2024年12月6日音讯,国度学问产权局信息表露,拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司赢得一项名为“汽化系统以及薄膜千里积成就”的专利,授权公告号 CN 222100142 U,肯求日历为2023年10月。
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专利摘抄表露,本实用新式属于薄膜千里积制备本事界限,公开了一种汽化系统以及薄膜千里积成就,汽化系统包括用于储存液态先行者体的储源件、用于输出载气的载气件和汽化器;汽化器与储源件之间通过第一管路连通,第一管路装置有第一流量检测件,第一流量检测件用于检测通入汽化器的先行者体的流量,汽化器与载气件之间通过第二管路连通,汽化用具于通过第一管路继承先行者体,以及通过第二管路继承载气汽化器的输出口连通于反映腔室汽化用具于将液态的先行者体汽化为反映气体,将佩带有反映气体的载气通入反映腔室。该汽化系统培植了对先行者体流量检测的准确性;同期幸免出现烘焙汽化才气对限度阀、管路等结构形成的高温损坏的风险,培植了汽化系统的使用寿命。
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